功能特点

• 冲洗，吹净，吹干，烘干功能，利用高速旋转离心力，把残留附着化学试剂及颗粒尘埃甩除，同时洁净氮气把残留颗粒尘埃带走，使产品表面洁净干燥洁净。
• 静电消除功能，产品高速运动时会产生静电，利用高压除静电装置使产品表面达到中和状态。
• 电导率监控，监控清洗水质及产品表面残留附着化学试剂及颗粒尘埃过多，不符合甩干前要求，提示并发出警示，避免不良品进入下道工艺。
• 不锈钢加热器氮气加热，加热膜腔体加热，PID 温度精度控制，可选择提前预热。自动清洗功通能选择，可设定间隔时间，确保设备始终保持洁净状态。
• 氮气0.003UM 过滤，确保工艺气体洁净度。
• 机械自复位功能，停机待机片盒朝上。
• 氮气压力，门密封状态，片盒朝上等条件保护。
• 控制单元单独控制，单独运行，操作简单，维修方便。