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型号 model |
太阳能行业 Solar |
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SG11 |
SG12 |
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工作腔数量 |
8 |
8 |
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硅片规格 mm |
2.5", 3", 4", 5", 6",8"156 25片盒 |
2.5", 3", 4", 5" , 6",8"156 50片盒 |
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旋转速度 r/min |
0-900 |
0-900 |
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氮气压力 |
0.3 |
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去离子水压力 |
0.3 |
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电阻率监控 |
可选 optional |
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氮气密封 Nitrogen seal |
有 Yes |
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空/氮气烘干 |
有 Yes |
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氮气加热方式 |
热传导 Heat exchange |
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氮气加热温度 |
30-120℃ PID控温 30-120℃ PID control |
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辅助加热系统 |
有 Yes |
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腔体电化学抛光 |
可选 optional |
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电机驱动 |
变频调速 Speed regulating by frequency conversion |
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控制系统 |
PLC可编程控制器 PLC |
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控制显示器 |
液晶触摸屏 LCD touch screen |
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外型尺寸（长x宽x高）mm |
1040x1095x894 |
1636X1552X1007 |
1250x1296x970 |
1376x1296x1007 |
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电源功率 kw |
5 |
6 |
6 |
6 |
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电压 / 频率 |
AC380V 50HZ (三相四线) / AC380V 50HZ (3-phase) |
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